产品系列
全系列臭氧尾气破坏器
覆盖从实验室研究到工业量产的全场景需求，为不同工艺条件提供最优臭氧尾气处理解决方案。
F800
F800 小型实验用臭氧尾气分解器
锰氧化合物催化，出气浓度＜0.1ppm，无需通电，适用于实验室小试及仪器臭氧尾气分解
F2
F2 标准型臭氧分解器
全不锈钢结构，处理效率99.99%，流量≤5L/min(100mg/L)，适用于CVD/ALD/MOCVD等工艺
F3
F3 高效型臭氧分解器
大流量处理，分解能力99.9%，流量≤90L/min(200ppm)，适用于高产能半导体产线
3S-W3
3S-W3 环境臭氧尾气分解器
处理量50m³/H，毁灭率99.5%，移动式设计与智能温控，适用于环境空间臭氧处理
F810
F810 臭氧气体分解催化剂
柱状改性活性负载高效金属氧化物，分解臭氧率＞99.9%，使用寿命5年以上