热分解、催化分解与化学吸附是臭氧尾气的三条主处理路线，都能把臭氧还原为氧气，但能耗、耗材与维护成本差别明显。本文对比三者的分解机理、运行温度、适用浓度与风量、对共存组分的敏感性，并给出半导体产线按总臭...

臭氧尾气破坏器（Ozone Destructor）用于把半导体 CVD/ALD/MOCVD、灰化、湿法清洗等工艺产生的臭氧尾气分解为氧气。本文详解臭氧来源、处理必要性、催化分解原理、三大技术路线对比与...

半导体制造中的臭氧并非废气，而是被主动使用的工艺气体。本文逐一拆解 CVD/PECVD、ALD、MOCVD、灰化炉、湿法清洗（DIO₃）与喷涂工具等工艺的臭氧来源、浓度与流量特征，并给出相应的尾气处理...

第一作者： Guoxiang Zhu通讯作者： 娄阳, 朱永法通讯单位： 江南大学，清华大学论文DOI：https://doi.org/10.1038/s41467-021-24424-x全文速览开发...

工业有机废水往往成分复杂、处理难度大，特别是生化尾水中残留的部分特征有机污染物对COD有一定的贡献，而且结构稳定、毒性大，因此增加适当的深度处理单元对生化尾水COD和毒性指标进行把关显得尤为重要。团队...

水处理臭氧催化剂能频繁使用多少次呢对制得的Fe2O3催化剂和多组分催化剂进行XRD (X射线单晶衍射，X-ray diffraction)表征，得到的XRD图谱如图1所示图 1 催化剂的XRD图谱由图...

电晕处理主要用于塑料薄膜或塑料片材的表面处理。油墨印刷前，对材料进行覆膜、吹塑、涂胶、涂胶、材料改性、聚合、薄膜金属化、浇注和粘合，以使表面具有更强的附着力（即更高的达因水平），并防止印刷和粘合褪色、...

地面臭氧对人类和生态系统有害，而室温催化分解是 有效的臭氧减排技术。然而，解决现有金属氧化物催化剂由含氧中间体引起的失活问题具有挑战性。在这里，我们通过简便的共沉淀法成功制备了二维NiFe层状双氢氧化...

臭氧催化剂的SEM 与BET 分析臭氧催化剂的SEM 分析对臭氧催化剂进行SEM 分析，结果如图1 所示．由图1 可知：焙烧前催化剂表面有极少或没有褶皱，呈块状结构；而焙烧后催化剂表面褶皱丰富，有明显...

臭氧催化氧化技术处理低浓度有机废气的实验研究 等离子体与催化剂结合去除VOCs 是近年来备受关注的一种技术，臭氧氧化技术可应用于起燃温度低的低浓度VOCs 的处理。臭氧必须在适宜温度下进行...

臭氧高级氧化在养殖废水实验中性能研究 畜禽养殖废水含有高浓度有机物、氨氮、悬浮固体和相当数量的病原体及特定结构的有毒物质，经过好氧处理后，色度亦急剧升高，是地表水及

我国对垃圾的主要处理方式是填埋,但是在垃圾填埋过程中会产生垃圾渗滤液,这种废水呈黑褐色,氨氮含量高,水质复杂,难以降解。垃圾渗滤液经过常规生化处理后虽然能降解大部分的污